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硅片加工表面污染类型
双击自动滚屏 发布者: admin 发布时间:2012/2/8 8:52:31 阅读:199次 【字体:

          硅片加工表面污染类型
    在硅片加工及器件制造过程中, 所有与硅片接触的外部媒介都是硅片沾污的可能来源。这主要包括以下几方面硅片加工成型过程中的污染、环境污染、水造成的污染、试剂带来的污染、工业气体带来的污染、工艺本身带来的污染、人体造成的污染等。其污染主要有以下几种类型(1)颗粒沾污(2)有机物沾污(3)金属离子沾污(4)自然氧化层沾污。

参考资料:南京权坤生物科技有限公司

 
 
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